日本ACE層流壓差型質(zhì)量流量控制器

更新日期：2024-05-11

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日本ACE層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列
該流量控制器測(cè)量當(dāng)氣體流過(guò)小層流元件時(shí)產(chǎn)生的氣體的壓差，校正溫度和壓力，并測(cè)量和控制質(zhì)量流量。

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產(chǎn)品介紹

日本ACE層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列

層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列
超緊湊

　該流量控制器測(cè)量當(dāng)氣體流過(guò)小層流元件時(shí)產(chǎn)生的氣體的壓差，校正溫度和壓力，并測(cè)量和控制質(zhì)量流量。
通過(guò)采用小的層流元件實(shí)現(xiàn)了小型化。
隨著流量的元素的適當(dāng)選擇，可以從微小流量到大流量處理?！?/font>

1. 1。可以從微小的流量到大容量　　進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)選擇一個(gè)元件可以支持從10nccm到50NLM的流量

。全流量方式的流量測(cè)量和控制具有　　較強(qiáng)的抗暫時(shí)水污染和流入氣體凝結(jié)的能力

。實(shí)現(xiàn)高速實(shí)際流量響應(yīng)控制

4。還輸出燃?xì)庀到y(tǒng)的溫度和壓力信息，是　　燃?xì)夤?yīng)系統(tǒng)診斷的選擇。

目標(biāo)氣體	N2，空氣，H2，CH4，Ar，CO2，CO，C3H8等
流量范圍	10NCCM-50NLM（0℃，1 atm轉(zhuǎn)換）
控制范圍	2-100FS
準(zhǔn)確性	1％FS
重復(fù)性	±0.2％FS
反應(yīng)速度	2秒以內(nèi)（達(dá)到滿刻度設(shè)定值的±2％的時(shí)間）
控制范圍	2-100
工作溫度極限	0至50°C（10至40°C：保證精度），無(wú)凝結(jié)
耐壓	0.99兆帕
外密封	1x10 ^-7 Pam ³ /秒（He）以下
輸入信號(hào)	0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項(xiàng)）
輸出信號(hào)	0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項(xiàng)）
電源電壓	DC24V±10％200mA以下
氣體接觸材料	SUS316，Viton等（與SUS316L兼容）
電源連接器	D-Sub 15針（需要控制盒）
尺寸	面對(duì)面尺寸108毫米高62毫米（不包括連接器）
管件	1/4世偉洛克等效接頭（可用VCR等效接頭）